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曾是台積EUV救世主 日本材料王JSR前會長小柴,如何躲過失落30年?

【陳良榕專欄】光阻液是EUV最貴化學原料,由JSR獨霸世界。日本半導體材料廠為什麼能躲過「失落30年」?從JSR的70歲前會長的小故事,窺見答案。

JSR-小柴滿信-光阻液-蝕刻液-載板原料-半導體-失落30年 JSR前會長小柴滿信。圖片來源:王建棟攝
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經歷了「失落30年」,曾經輝煌的日本半導體製造業,已不具全球影響力。失去本土大廠的庇蔭,為何日本廠商卻在光阻液、蝕刻液、載板原料等半導體關鍵材料,都居壟斷地位?

這個特異現象一直讓我很好奇。

好不容易,等到了日本化學業的傳奇人物,70歲的日本光阻大廠JSR前會長小柴滿信來解惑。他1月到天下經濟論壇(CWEF)發表演說,並在會後接受我的採訪。

小柴擔任社長期間,與台積電、艾司摩爾共同開發出極紫外光(EUV)光阻,市佔長期超過五成。

光阻液是半導體微影製程中,用來刻出電晶體線路的關鍵材料。EUV光阻液1公升超過5000美元,是最貴的化學原料。

也因為JSR的關鍵地位,傳出德國大廠默克有意收購,於是日本政府下屬的產業改革投資機構基金,在2023年迅速以近2000億台幣收購JSR,並將公司下市,在全球半導體業引發軒然大波。

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