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艾司摩爾被錯怪了?台積不用EUV也耗電 三理由還它清白

【陳良榕專欄】台積用電暴增,業界指元凶是EUV,艾司摩爾卻喊冤。 細究半導體先進製程,EUV運作簡直像科幻電影,它雖然耗電但沒這麼誇張,EUV是被妖魔化了。

台積-艾司摩爾-EUV-先進製程-吃電-耗電-陳良榕 艾司摩爾位在南科的EUV全球技術培訓中心。圖片來源:天下資料
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我在8月下旬的專欄「EUV幫台積勝出,卻吞光一座核電廠 兩張投影片揭台積新增用電」刊出不久後,壟斷EUV微影技術的艾司摩爾企業公關告訴我,這篇專欄的英文版讓荷蘭總部一位高階主管大吃一驚,「我們有這麼耗電嗎?」

因此她來澄清,「我們不是吃電怪獸。」

三理由還EUV清白

艾司摩爾提供的資料與後繼訪談,大致可以歸納出三個理由。

第一,「護國神山」用電暴增不能全怪EUV。

台電預測今年半導體業新增用電為640MW(百萬瓦),主要來自台積新增產能。其中有多少來自EUV?

業界指出,為了即將量產的2奈米製程,台積今、明兩年合計進貨70台EUV。一台最新規格的EUV耗電1.2MW,即便70台都在今年上陣,也僅相當於今年新增用電的13%。

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