台積、日月光神隊友　它能讓半導體廢棄物變再生料

第一位創業伙伴陳皇志當時是一家太陽能晶片切削機的老闆，切片過程加入切削油，混著切剩的矽，會產生黑芝麻醬般的污泥。陳皇志代表客戶帶著資金找上謝雅敏，她於是離開校園，與陳皇志成立成亞資源。

謝雅敏的技術能將含矽廢泥製成矽碇，用於煉鋼，可取代內蒙古進口的矽鐵，價格更只有六成，順利賣進華新麗華。

燁聯、中鋼，甚至讓環保署督察大隊也找上門。沒想到，好景不常，2017年太陽能產業上游移到中國，沒有污泥，整個行業雪崩式驟減。

雖然不再有新料，但非法堆放的污泥還剩不少，因此，矽碇仍是成信目前主要產品，營收佔比約六成。

CMP污泥製成的石粉，不僅能加入紡織材料，還能再製成晶圓拋光液。（黃明堂攝）

捲土重來，切入半導體業

太陽能廢料不再，但包含半導體業在內，台灣其實飽受棄置污泥所苦。

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2017年，她參加國際半導體產業協會的研討活動，遇上急於為廢棄物找解方的半導體業者。那場活動上，她提出的「廢棄物體檢」概念，令半導體大廠耳目一新。

雖然半導體廠知道回收的重要性，但當年技術還停留在焚燒、掩埋等處理思維。

「我當時告訴他們，你要知道廢棄物成分是什麼，才能知道怎麼循環，」她解釋，「有毒，不代表沒價值。」

有毒但是有價值

半導體大廠都表達出合作意願，但成亞已經沒有錢了，當時畢業於成大資源工程系的現任亞太電信董事長陳鵬看到成亞，「那時候大家還不了解循環經濟是什麼，但是我聽得懂，」陳鵬說，「產業、趨勢是對的，技術也是對的。」

他協助成亞經營團隊買下所有設備、庫存、人員，重整公司，2019年，成信成立，著手幫日月光和台積電解決問題。

工廠內，一袋袋邊角料被再製成二氧化矽粉。（黃明堂攝）

再生料用進塗料、建材

日月光每年上千噸固體封裝廢料，原本去處是填充進鋪路磚和拌入水泥，但附加價值都不高。

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2018年，成信研究發現封裝廢料裡含有88%球形二氧化矽，是一種精細奈米級材料，可用以保護晶圓。日本電氣化學製造的球形二氧化矽，一公斤要價最高到新台幣上千元。

日月光副理許美論說，「成信在二氧化矽純化技術，屬於較高等級，」去化能力也是重要考量，「我們害怕，如果廠商沒有去化的去向，可能有棄置的風險。成信的販賣量大於廢棄物進料量，讓我們相信他去化沒問題。」

2020年，成信與日月光正式合作，團隊將球形二氧化矽還原成一袋袋白粉。未來目標，是重新做成日月光的封裝材料，完成真正的廢料循環。

行業成功關鍵：保證完售

但是，一開始，成信卻先找上塗漆商、耐火建材商，把球形二氧化矽便宜售出，讓他們加在材料裡，讓建材、塗漆更強韌。

這些廠商收到報價時，驚訝得不得了，「你怎麼會把這種料，報這麼差的價格給我？」

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謝雅敏解釋，再生料的生意和一般不同，首要目標是確保賣得掉，因為廢棄物會源源不絕送進來，必須立即處理以免堆置，所以初期要先確保能賣掉，一邊提升產品價值，找到合適通路。

直到去年開始，日月光願意將回收材料用在晶圓封裝，每公斤單價也因此提高，這部份營收佔比三年內成長3倍、至9%，預計明年可達21%。

此外，成信還說服日月光，廢料從工廠設備排出時，就得先分類好，連清潔阿姨都要接受教育訓練，方便後端回收。

與台積合作，將半導體污泥產品化

從汙泥出發，成信在協助解決晶片研磨廢水處理也具備技術。

其做法是用物理技術過濾，讓液體重複使用，濾後汙泥送入實驗室，純化成二氧化矽粉，並確認有商業價值，接著試做出產品，這個過程就花了三年。

成信為污泥找出愈來愈多應用，處理的污泥量單位也從公斤變成噸。

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2020年，中科園區零廢中心的計劃找來成信，在園區內蓋起CMP污泥產品化工廠，預計未來每年處理一萬噸污泥，成為全世界第一座專門將CMP污泥產品化的工廠。

成信再製的矽粉，含有高達88%的球形二氧化矽。（黃明堂攝）

台積電表示，將透過零廢中心，「持續開發CMP污泥再製為高值化再生資源的創新技術，」零廢中心的目標，是貫徹循環經濟的精神，「將廢棄資源純化為半導體等級化學品，重回台積公司製程使用，預期取代約30%原物料開採需求，達成以綠養綠的永續目標。」

謝雅敏認為，廢棄物再生的關鍵其一，是技術與創造力，另一個關鍵是企業思維，「源頭願意配合很重要，如果他們什麼都不做，（循環經濟）層次就高不了。」

（責任編輯：宋玟蒨）