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半導體無塵室內,薄如蟬翼的晶圓,正被機器手臂的真空鏟葉平穩吸附起來。手臂在空間中快速穿梭,將晶圓輕巧、毫無震動地放在機台上,準備進入下一道奈米級製程。
這是上銀科技的晶圓機器人,現在半導體供應鏈的當紅炸子雞。
但很少人知道,控制這些設備精準起落的螺桿與滑軌中,佈滿了數以千計的微型鋼製滾珠。這些鋼珠直徑只有0.8毫米,一粒砂大小,卻是控制機器運轉平穩、零噪音的關鍵。在台灣,能穩定量產這種極精密微型鋼珠(滾動體)的,只有天工精密一家公司。
「機器人關節由軸承組成,而滾動體是軸承裡最核心的運動元件,」上銀科技董事長室副總經理李文彬說。如今,上銀在精密傳動元件用的滾珠,八成以上來自天工。

年產200億顆滾動體,解決機器人關節磨損痛點
不過是鋼珠,門檻在哪?
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