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全球半導體設備龍頭艾司摩爾（ASML）的EUV極紫外光微影機台，這個每台售價超過1.4億歐元，專門用在7奈米以下半導體製程的「舉世最貴工具機」，已成為台積、英特爾、三星，下一回合決勝的關鍵，能搶到，才有機會制霸半導體業。
艾司摩爾執行長溫彼得（Peter Wennink）在20日的法說指出，EUV高階製程需求不斷成長，去年台積就多次針對2021年展望、修改EUV訂單數，第四季更希望增加訂單，但由於缺料問題、供應受限，部份訂單只能轉移至2022年，「我們可以再擠出一、兩個嗎？大概，但我們從未說過可承擔客戶們所有產能需求。」
瑞銀證券也在最新的研究報告指出，「雖然台積、三星需求增強，但EUV可能迅速成為其先進製程產能瓶頸。」
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