台積2奈米清潔靠它!台塑德山槽車直通無塵室,「18天」改寫石化命運

原本由日商在日本製造的半導體用異丙醇,已經落地台灣。台塑與日本德山合資成立的台塑德山,成為台積電洗淨晶圓不可或缺的異丙醇供應商。現在還要擴產,趕上先進製程的大擴廠浪潮。

半導體-台積電-台塑-石化-台塑德山-異丙醇-特化材料-在地供應鏈 台塑德山乍看之下與其他傳統石化廠沒什麼不一樣。圖片來源:謝寬攝
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「我都開玩笑說,客戶最喜歡18天的異丙醇,」台塑德山組長黃惠賢笑說。

台塑與日本德山合資成立的電子級異丙醇廠,在4年前完成建廠,台塑德山現在已經是北、中、南晶圓廠,關鍵的異丙醇生產基地。異丙醇是晶圓的清潔劑,用於洗淨晶圓加工過程中所留下的雜質,可說是半導體製程中的關鍵特化材料。

這座台日混血的廠就座落在台塑林園廠區,被綿延好幾公里的石化管線包圍,乍看之下與其他傳統石化廠沒什麼不一樣。但特別的是,一輛輛準備把異丙醇送出場的化學槽車,竟然要把連接管線,拉入無塵室裡灌裝化學品。

「一般環境會有微小粒子與污染物,所以最後灌裝需要在無塵室,」台塑德山副廠長鄭友義說。

台塑德山不評論客戶。但半導體產業人士指出,台塑德山已是台積電異丙醇最大的供應商之一。

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