●接續前文：相機賣不過日本品牌，蔡司靠EUV翻身！德國直擊：一群博士磨出世界最平鏡子
相信EUV沒有替代品的人，還有位在南德巴登-符騰堡州迪欽根（Ditzingen）的萊賓格（Peter Leibinger）。
萊賓格是迪欽根的德國家族企業創浦（Trumpf）二代，現任德國工業聯盟會長。
2005年，艾司摩爾和光源製造廠西盟（Cymer）找上創浦，協助建造EUV光源。當時創浦已是頂尖的工業用雷射器製造商，時任創浦副董事長暨技術長的萊賓格，立刻答應接下任務。
【小檔案】創浦
- 成立／1923年
- 執行長／妮可．萊賓格
- 主要產品／工業雷射器、EUV雷射器
- 成績單／2023年營收約1750億台幣（EUV雷射器約343億）
「他把這件事當成一項個人使命推動，從第一天就相信這個（EUV）很重要，」艾司摩爾執行長福凱告訴《天下》。
這對歷史比艾司摩爾悠久的創浦而言，幾乎是開啟一項全新業務。
EUV專用款，與美國海軍同級
《天下》記者踏進創浦總部，這間在德國以勇於擁抱新科技聞名的家族企業，意外充滿藝術感。大樓是德國包浩斯風格，掛著畫的迎賓大廳彷彿美術館，整個總部是由老萊賓格（Berthold Leibinger）的建築師小女兒設計。
1923年創立的創浦，本來是生產用於鈑金切割的傳統工具機。1980年代新興的雷射切割技術出現後，老萊賓格買了一台500瓦雷射器，安裝後推出雷射切割工具機，結果極不穩定，讓他大為失望，於是決定「重新設計自己的雷射器」。
「這就是我們（EUV）高功率二氧化碳（CO2）雷射器的傳家寶，」創浦技術長施密特（Berthold Schmidt）接受《天下》專訪時笑著說明。
施密特回憶，艾司摩爾和西盟需要能產生EUV光源的雷射器，強度遠高於創浦既有產品。
為符合EUV使用，創浦設計出一種由四個元件組成的雷射器，重量約16噸，光零件就超過40萬顆，功率等級達到4萬瓦，是全球最強的工業雷射，與美國海軍開發中的雷射砲同一等級。
跟隨艾司摩爾，工法進化
這台CO2雷射器產生光束的過程，可說是科幻場景等級。
創浦設計的雷射放大器，雷射光束以每秒5萬次速度擊中約三分之一人類髮寬的錫滴，產生EUV光源，之後經過蔡司的反射鏡組引導到需要曝光的晶圓。
「順利把雷射脈衝光送進去錫滴室，才取得成功，」施密特說。
《天下》記者穿上無塵衣、戴上護目鏡，進入創浦的無塵室，目睹四個元件組成的超級雷射器。
創浦工程師法蘭克，指著無塵室內布滿管線的銀色「高功率種子模組」解釋，種子雷射器將光源放大到EUV需要的數量級。
另一間，則是第二個元件，用來增加光束的功率；第三個元件是光束傳輸系統，負責把光束引導到錫滴室；最後一個則是聚焦裝置，要確保雷射每秒直接命中錫滴。
四個元件環環相扣，組裝更是一大工程。法蘭克驕傲地看著自家機台表示，「沒有我們這台雷射器，iPhone 16就不會出現。」
從2005年投入至今，EUV用的CO2雷射器業務，規模已佔創浦總營收20%，還獨立成一個業務部門。
「我們還在提升雷射器的功率和效率，因應艾司摩爾未來5到10年的需求，」施密特看好未來。
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（雜誌原標題為：地表最平鏡面、最強雷射 蔡司、創浦總部開箱／責任編輯：王儷華）
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