解密台積獨家靠山　荷德小鎮艾司摩爾軍團，百億元EUV打開「埃米」時代

要進入這座位在荷蘭南部，如同停機棚般壯觀的巨大無塵室之前，世界最大半導體設備廠艾司摩爾的公關，不忘提醒《天下》記者，即便已穿上全套深藍色連身無縫隙無塵衣、帽、鞋，只露出兩顆眼睛，還得先卸妝、卸睫毛膏，避免細微的化妝品粉塵飄出，污染無塵室。

這只是《天下》採訪團隊飛到歐洲，成為台灣第一個獨家參觀「全世界最複雜機台」——高數值孔徑極紫外光微影機台（High-NA EUV﹚的廬山真面目，所付出的小小代價。

艾司摩爾總部位在荷蘭南部安靜小城維荷芬。（ASML提供）

巴士大的EUV，幫台積開新路

據台灣半導體供應鏈透露，台積電剛進貨一台High-NA EUV，在新竹有「台版貝爾實驗室」之稱的台積研發中心裝機，展開測試。規劃在2030年量產的A10（10埃米，相當於1奈米）製程開始大量採用該機台，屆時將助攻台積進入「埃米」時代。