因為半導體製程需要用到巨量的水,偏偏台灣又是缺水國家。
如何省水,保持用水穩定,對半導體業者來說,不僅是做環保,更攸關競爭力。
世界先進為省水訂下短、中、長程目標,以具體量化數據做績效管理,實踐「三R」: Reduce(減量)、Recycle(回收)、Reuse(再利用)。
省水策略又可分為開源、節流兩個面向。在開源方面,從耗水量最大的製程用水著手,將水資源,做極大化的運用。
首先,建立每月詳細用水紀錄,再比較分析,收集可回收的製程水,處理過後再利用。
根據世界先進的定期追蹤績效指標,目前各晶圓廠製程水回收率可達八五%以上,不但符合新竹科學園區製程用水的回收標準,且回收比率逐年上升。此外,公司也在廠區設置了雨水截流收集系統,用來替代部份自來水使用。
在節流方面,則是嚴格管控非製程用水,如外牆清洗頻率與維護景觀的用水,同時在公司內部張貼海報,倡導節水觀念。
整體而言,世界先進二〇一三年的總用水量中,回收再利用的水就佔了七八%,相較於四年前,增加了兩個百分點。
除了水的開源節流外,世界先進也積極省電。
一年省下六百萬電費
例如,晶圓一廠共有十台冰水主機,供應潔淨室空調系統使用,每台冰水主機各有一台冷卻水幫浦及冰水幫浦。早期,不論使用量多寡,幫浦都用同樣頻率運轉,但一年三六五天、一天二十四小時運轉下來,耗電量非常大。後來世界先進為幫浦增設變頻器,隨時依負載需求,調整運轉頻率。這個動作,讓世界先進每年省下約二二〇萬度電、減少一四六萬碳排放量,節省電費近六百萬台幣。
另外,為了減少溫室氣體排放,世界先進以一〇年為基準,訂定今年排放量目標至少要降三成。
為了達標,去年新購入電熱式廢棄處理設備,可將半導體製程所排放廢氣中的全氟化合物,減少逾九成。
今年,世界先進更首次在國際碳揭露專案(CDP)中,揭露溫室氣體管理資訊,以國際標準自我要求。
無論是在省水、節能,或是減少溫室氣體排放上,世界先進都有具體實行措施,並清楚評估績效,要求做到減量、回收、再利用,逐步與國際標準接軌。
聚焦產業新知、管理心法,企業轉型再成長的必備讀物
聚焦產業新知、管理心法,企業轉型再成長的必備讀物
請查看您的信箱,我們將寄送驗證信給您,確保未來信件會送到您的信箱