重磅週年刊

環保問題緊扼科技咽喉

四月中,正在試車的聯電第五晶圓廠,因環保問題被勒令停工, 反應近年台灣高科技產業急速擴張,環境措施卻跟不上的問題, 英特爾董事長葛洛夫曾說,IC產業發展最致命的關鍵就在環境及水, 國內問題有多嚴重?覺醒和行動的腳步夠不夠快?

其他

四月中旬,進入試車階段的聯電第五晶圓廠,因位於新竹市頭前溪自來水的水源水質水量保護區,事前卻未做環境影響評估即施工,而遭環保署註銷許可、勒令停工。
一宗逾百億、合法申請的開發案,卻在完工試車階段,才發現這項缺失。負責核准的國科會、園區管理局,環保機關及廠商,似乎均難辭其咎。
而這項爭議也恰恰反應,近年台灣高科技產業急速擴張,生產先行、環保再議的決策模式。
在產能急速擴張的情況下,不僅新竹科學園區爆滿,用地擴及水源水質水量保護區。園區外,高科技廠商也進駐新竹工業區等傳統工業區。甚至竹北的街上都出現一家知名的高科技廠,與透天厝為鄰。

環境措施趕不上經濟飛馳

新竹縣環保局局長郭坤明憂心地指出,光是污水處理就成問題。「他們一直在擴充產能,其它也要配套擴充,你不能說,人長大了,不去換雙鞋,」郭坤明比喻。
產能迅速擴充,加上產品生命週期短、製程日新月異,常使相關的環保措施與這個迅速變化的產業難以結合。一位園區半導體公司的協理就說:「一個化學品要先申報,理論上它准了,我才能用。但是等你准,我根本來不及做。」
當高科技產業逐漸成為台灣經濟命脈的同時,相關的環境保護配套措施,才要起步。
七月一日,「半導體製造業空氣污染管治及排放標準」即將實施。這項法令針對半導體產業製程的特性,管制揮發性有機氣體(VOC)的排放。「舊法檢測氮氧化物、硫氧化物,半導體主要排放的根本不是這個,他們當然永遠合乎規定,這次法令就是補這個漏洞,」工研院工安衛生中心副主任余榮彬解釋。
事實上,近來,新竹科學園區鄰近的社區,偶有居民向新竹縣市環保局或管理局舉發園區廠商排放有異味的氣體。緊臨園區的新竹縣寶山鄉大崎村村長范松衡說:「主要是晚上有異味,有那種酸辣酸辣的味道。」
對空氣品質的憂心,連帶地,也使大崎村居民懷疑起近來村民的死因。今年開始,居民不再喝地下水。
面對居民懷疑園區廠商偷排廢氣,矽統科技工安環保經理范光榮不解地說:「我們機器是三百六十五天在運轉,我不會為了某些東西要在晚上偷排,機器晚上才用。」
新竹縣環保局局長郭坤明指出,居民聞到的味道,是有機溶劑的味道。「這些高科技用千百種化學物質,各種無機酸鹼、有機溶劑,加上他們產品的週期短,用的化學物質常在變。空氣,你沒抓到,瞬間就出去了。」
因應新標準,園區廠商從去年就忙了起來。同時負責園區同業公會環境保護工作的范光榮表示,園區一個半導體廠平均花四、五千萬投資新設備。廠商的年度維修也全部改到四月二十二日,以便在七月一日前完成新的防治設備的試車。
面對新法令,郭坤明比較:「美國矽谷、波士頓等高科技廠商的密集區,一九九○年就開始管制揮發性有機氣體。台灣才剛剛開始做,已經慢十年。」

科技全球共享,環境在地承擔

根據新竹科學園區管理局的「環境保護白皮書」的調查結果顯示,園區附近居民認為園區應最優先處理的環境問題,依序是廢水、空氣污染、毒性物質、廢棄物及噪音。顯見居民最關切的還是水資源的問題。
去年六月,一項全國工業區土壤與地下水質污染全面調查報告出爐。新竹科學園區十九號監測井測出三氯乙烯(致癌物)濃度為美國標準的二十倍。後續調查目前還在進行。
往前回溯。一九九七年間,新竹科學園區也曾因為污水處理廠,無法負荷園區內急速擴張的產能,導致污水任意排放,引起地方詬病。
然而,在污水處理廠擴建後,園區排出的廢水,依舊因為溢散有機溶劑的味道,而偶遭附近居民質疑。
為了解決這個問題,園區管理局正在為部份污水排放的渠道加蓋。
位於寶山路兩百巷的龍泉寺旁,正大興土木。這條通往客雅溪的水圳,容受園區排出來的廢水,幾名工人正忙著打鋼筋水泥,替水圳加蓋。
但是加蓋處理後,園區廢水就完全得到妥善處理了嗎?答案似乎依舊沒有定論。
在一切依法的情況下,環保法令與民眾對環境品質的期待,仍舊有落差。負責污水處理廠代操作業務的中鑫公司維護服務部副理林舜宏表示:「我們幾乎每個月被檢查兩次,依環保署的管制標準,我們都合格。」

不知毒在哪裡

依環保署規定的放流標準,工業廢水共管制三十六項排放物。其中,新竹科學園區管理局的污水處理廠,只能處理生化需氧量、化學需氧量及懸浮固體。其餘三十三項管制,在各廠的前處理階段,就須達到法令標準。「這三十六項裡面,沒有管制揮發性有機物。我也無法保證,放流水中沒有揮發性有機物體,」林舜宏說。
工研院能資所水資源室主任陳筱華指出分析,IC產業製程用太多毒性化學物質,因為專利問題,甚至連進口的廠商都不知道其中的成份。「它化學品一直在變,就衍生出複雜的環境問題。即使它排出來的廢水符合放流水標準,還是可能有毒,」他說。
另一方面,在廢棄物清理法與土壤污染防治法分別修正與通過後,園區廠商勢必更謹慎處理廢棄物。去年完成「新竹科學園區廢棄物處理與處置規劃研究」的台大環境所教授林正芳分析:「廢清法與土污法,兩法相輔相成,都要求源頭(廢棄物製造廠)負責,園區面對更嚴格的法令,也要面對流落到外面的廢棄物。」
林正芳進一步解釋,台灣廢清業者不健全,技術可能也不夠。將廢棄物交給廢清業者,對園區廠商也有風險。他認為,整合資訊,深入每廠,釐清其廢棄物的質與量,了解其去處,才能規劃處理方案。
企業則相信,廢棄物再利用,是處理廢棄物最好的方法。矽統科技工安環保經理范光榮說明,園區的廢棄物,除了由原廠回收或再利用,其它交廢清業者處理。目前廠商正研發將過去以掩埋為主的氟化鈣污泥,交給水泥業製磚,或用在鋼鐵業的助熔劑。

環境比技術問題致命

放眼國際,高科技產業,特別是半導體業的工業安全衛生與環保問題,早已是重要課題。
一九八一年,全球高科技產業的心臟矽谷。快捷半導體(Fairchild Semiconductor)發現地下儲槽的有機溶劑洩漏。高科技產業造成地下水污染的問題首度浮現。直到今天,被美國超級基金列為國家優先處理的地下水污染場址,超過一百五十個,其中就有二十九個在矽谷地區。
同時,空氣污染也成為高科技產業的隱憂。根據美國環保署的報告,一九八七至一九九三年間,矽谷的高科技公司排放一七七噸的毒性化學物質至空氣中。
高科技污染可能帶來的環境污染及人體傷害,乃至半導體的工作環境,特別是在無塵室引發的健康風險問題,甚至使國際大廠惹上官司。
一九八四年,美國勞工統計局的資料顯示,半導體員工因使用毒性化學物質,引起呼吸性問題,較其他製造業員工高三到五倍。
一九八五年,加州保健部的研究顯示,在受地下水受污染的快捷半導體工廠,附近居民生下畸形兒的機率,是一般人的三倍。
一九九○年代,IBM、美國國家半導體、摩托羅拉等大廠,均遭員工訴訟。這些員工指控,在半導體廠工作,導致他們罹患癌症,致使女性員工容易流產、生下畸形兒。
儘管高科技可能帶來的健康風險,還有爭議,許多訴訟也懸而未決。但如今,半導體業涉及的環境工業安全與衛生的課題,已成為這個產業發展的重要挑戰。
英特爾董事長葛洛夫曾在一場「半導體環境優先研發中心」的會議中指出:「IC產業未來最致命的發展一定在水和環境,而不是技術製程。」
這個研發中心由加州柏克萊分校、史丹福大學等大學主導,關注的議題以水、空氣、廢棄物、能源消耗與製程化學品的減量與改良為主。
無獨有偶,由領導全球半導體發展的十三個會員企業組成的Sematech(半導體研究中心),也在半導體環境安全與衛生的工作計劃中,將「化學物品管理」、「自然資源使用減量」、「工作安全」與「環境工具的設計」,列為首要工作。
在這些課題中,由於半導體業的製程不斷更新,在化學品管理方面,猶存在環境管理的複雜度與未知數。
台灣唯一加入Sematech的台積電環境保護副理何玉蘭,說明化學品管理工作的努力方向:「在化學物品的管理上,方法不是問題,問題是速度。接下來要做到,化學品供應商提供化學品配方提供給製造商時,也能同時提供物質安全資料表。你製程速度很快,也要讓周邊可以同時照顧到。」

化學物質白老鼠

隨著台灣的半導體製程逐漸與世界大廠同步,化學品管理的課題益形重要。余榮彬分析,早期的半導體比較毒,台灣半導體業雖然在健康風險較大的時代,未大規模投入。但當前,台灣半導體產業製程的汰換愈來愈快速,製程更新逐漸跟上世界大廠。「我們對所使用的化學物質,毒性特性、毒理,還不是很清楚,過去。我們比國外的製程慢一年、兩年,最近最快只慢半年,台積電、聯電號稱,明年趕上英特爾,等於所有化學物品,你都試第一個,前幾年我們可以看國外大廠,現在你沒有學習對象。」
由於工業安全衛生與環境,涉及的不再只是產值產能,也是更好的管理,更明確的社會責任。因此,資訊透明化、降低民眾疑慮,逐漸成為國際大廠的作風。
國際間,英特爾、德州儀器、朗訊科技,乃至韓國三星,都開始出版企業的安全衛生環保年報。主動公佈廢氣、廢水排多少、員工受傷件數等。想在台灣推這套制度的工研院工安衛生中心副主任余榮彬舉例:「英特爾每年公布,有很大的改善壓力,從數字可以看出來,每單位晶圓產生的廢棄物、用水用電、受傷的人數,都在下降。我們製程明年可以趕上國際大廠,但是這部份,至少還差五年。」

資訊透明 在地合作

另一方面,當在地民眾對環境與健康風險有疑慮時,一種提倡在地合作,以使企業成長及環境保護雙贏的努力方向,也在國際間被提出。
美國民間團體,矽谷毒物聯盟(The Silicon Valley Toxics Coalition,SVTC)與Campaign for Responsible Technology,於一九九六年共同提出矽谷原則(The Silicon Principle),從社會責任的角度,要求矽谷的高科技產業落實「建立全面性的毒性物質使用減量方案」、「發展健康與安全教育計劃和健康監測」、「建立國內與國際平等實施的共同標準」、「與地方團體及員工密切合作,以確保完全監督及參與」、「與在地社區建立好鄰居協約」等原則。
在台灣,新竹科學園區與地方,正展開新的互動模式。以共同面對複雜的環境課題。

矽島「綠色」願景

在國科會的支持下,由清華大學統計所教授黃提源擔任召集人,邀請園區廠商代表、附近居民、縣市政府與多位學者專家組成的「科學園區環保監督小組」,今年開始運作。企圖釐清園區的環境課題,並進一步建立監督機制與改善流程。
許多人相信,建立互信讓資訊透明化,不僅可集眾力改善環境,更可以降低地方與企業間的緊張對立。新竹市環保局局長劉佳鈞認為:「產生誤會或不了解,都在於資訊不透明,互信程度不夠。」
地方縣市政府也逐步建立園區的環境監測機制。
在新竹縣環保局要求下,新竹縣轄下有八十六家廠商自願提出「工廠污染防治自行評鑑報告」。郭坤明肯定廠商的主動性:「報告出來,我們去看,覺得還有很大的改善空間。」
新竹市環保局局長劉佳鈞則提出漸進的目標:「先進行基礎調查,到底他用多少原物料,排放什麼;再做全面的土壤與地下水調查;做流行病學調查。」
許多人認為,論環保工作的投資與執行,新竹科學園區已經做得比其它地方嚴格。代表園區廠商參與環保監督小組的華邦電子發言人張致遠就說:「如果今天科學園區環保不能做,全台灣的環保都不能做。」
在投入環保工作之際,企業也希望環保法令與配套措施更清楚。住在寶山鄉的台積電環境保護副理何玉蘭,更希望外界不要用懷疑的態度,面對園區廠商對環保工作的努力。何玉蘭強調:「員工是我們最重要的資產,保護員工,也是保護外面的居民。」
當新政府喊出的「綠色矽島」、「高科技製造中心」的願景時,台灣的高科技業,正面臨更大的環境挑戰。未來,綠色矽島的願景不僅要建立在可見的產能與營收,更要建立在看得見的綠色行動上。

廣告
你可能有興趣
廣告
#Shorts|光與鹽管理顧問創辦人陳淑芬:天下學習幫助我們的學員,更加進步和成長。
最新訊息
每日6元,固定為自己充電
訂閱天下雜誌電子報

天下雜誌當期內容的精華與延伸,每周三發送最具時效性的深度內容