晶片股跳水！中國DUV量產，西方技術壟斷要崩盤了嗎？

伯恩斯坦半導體分析師林清源當時表示，「如果測試成功，會是中國企業邁出的重要一步，他們可以在此突破的基礎上，進一步研發更先進的設備。」

然而，全新的DUV設備通常需要經過至少一年的反覆調校，才能達到可投入實際量產所需的穩定度與良率。

林清源說，「擁有微影設備的原型機是一回事，但要將其投入穩定量產並具備與艾司摩爾競爭的實力，則是另一回事。這可能還需要好幾年的時間。」

EUV流入中國？

然而，比DUV突圍更致命的懸念是，得以製造輝達等公司最尖端晶片的EUV微影設備是否流入中國？

美國商務部長盧特尼克（Howard Lutnick）近來就不斷示警，指出美國懷疑至少有一台EUV突破封鎖，悄悄落入中國手中。這番話進一步將艾司摩爾推入地緣政治風暴中心。

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但艾司摩爾表示「絕不可能」，表示公司精確掌握所生產全部340台EUV微影設備的具體位置，包含26台已報廢的設備，都沒有任何一台在中國。況且，只有艾司摩爾能夠運輸這些極度敏感的設備，並透過網路進行線上監控，就連出貨的零組件也全由艾司摩爾工程師在客戶的晶圓廠內親自處理。

「艾司摩爾從未向中國出貨過任何EUV設備，也未曾向中國出貨過任何專為EUV設備設計的組件、模組或設備。」

艾司摩爾屢次請盧特尼克提出中國掌握EUV設備的證據，盧特尼克皆未回應。

對於盧特尼克的指控，一些聽過簡報的人說，確實「尚未證實」但也不是無稽之談。許多產業專家認為，艾司摩爾將整台EUV設備運往中國的可能性極低。但有些人認為相關零組件可能已經流入，或許是透過艾司摩爾自身的供應商或其他第三方。

此外，也有人認為美方的疑慮其實源於DUV設備，艾司摩爾仍持續向中國銷售這類舊款微影設備、零件及提供售後服務，且多數未受禁令限制。

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EUV，中國自主研發中

一個關鍵問題是，中國在自主製造EUV設備方面究竟取得了多大進展。

知情人士指出，深圳企業新凱來（SiCarrier）就是投入資源研發EUV設備的中國企業之一。

知情人士點出，深圳新凱來與宇量昇科技從股權結構來看根本是同一掛陣營，這群國家隊成員緊密綁定、資源互通。

路透社去年12月報導，位於中國的前艾司摩爾工程師團隊已於2025年完成了一台EUV原型機，並正在深圳的一間高安全級別實驗室進行測試。艾司摩爾表示，公司無法控制前員工的工作去向，但他們都受保密協議約束，且在某些情況下，公司已針對侵犯營業祕密行為成功採取了法律行動。

據路透社報導，該原型機尚未製造出任何可運作的晶片，但中國政府已設定目標，希望在2028年前生產出具備功能的晶片。大多數專家認為這一目標並不切實際，中國可能還需要十年的時間才能擁有可運作的EUV設備。儘管如此，他們承認中國在EUV以及某些替代技術上的進展比預期要快。

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中國逼出DUV技術極限，仍值得憂心

美方的另一大隱憂，在於中國對DUV技術的極限改造。以中芯國際與華為為首的中國晶片陣營，將名為「多重曝光」（Multi-patterning）的技術工藝榨至極限，硬是用DUV設備敲開了以往唯有EUV才能企及的7奈米以下先進邏輯晶片大門、直逼產業最前沿。儘管此舉必須付出高昂的成本代價，並伴隨較高的良率折損與缺陷風險，但部分美國專家警示，這已足以讓中國量產數百萬顆先進 AI晶片，在AI霸權的競逐中迎頭趕上美國。

對此，美國目前有兩大回應。其中一個是成立由參與西方人工智慧供應鏈的國家所組成的全新聯盟「矽和平」（Pax Silica），目標在推動從能源、關鍵礦物到先進製造與AI模型等領域的合作與共同規範。矽和平已獲得歐盟與荷蘭在內的24個簽署國和機構支持。這可能有助於理念相近的國家之間共享尖端技術，並統一與EUV系統相關的出口管制。

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另一個在兩黨支持下提出的《硬體技術管制多邊協調法案》（MATCH Act）就爭議得多。它不僅打算禁止向中國出售 DUV 設備，還會限制艾司摩爾為中國現有的數百台DUV設備提供維修服務、備用零件及軟體支援。該法案還給予荷蘭等國150天的時間，要求出口管制與美國看齊，否則將根據「外國直接產品規則」面臨制裁。

支持者強調，因為事關國家安全的重大利益，採取這類鐵腕手段是必要的。前五角大廈聯合作戰人工智慧中心（JAIC）戰略總監、現任諮詢公司負責人的艾倫（Gregory Allen）直言，「我不支持對企業進行溫和的道德勸說，我支持直接將這種行為定為非法。」

荷蘭方面當然不認同這種做法，荷蘭政府同時懷疑，要求限制出口較舊款DUV設備，與川普政府同意允許輝達向中國出口H200晶片之間是矛盾的，畢竟，H200晶片就是只能透過最先進EUV設備製造。

盧特尼克的指控，或許會隨著美方拿不出實體佐證而漸漸平息。但這不過是美中爭奪AI卡脖子關鍵技術漫長大戰中的前哨戰。這絕對不會是艾司摩爾及其頂尖技術，最後一次被迫捲入大國博弈的夾縫之中。

（資料來源：The Information, FT, Bloomberg, The Economist）