今年5月的台積技術論壇，出現一個生面孔講者：舉世第一個量產3奈米製程的南科18B資深廠長黃遠國。
他報告的最大亮點是一個拗口名詞：pellicle（光罩護膜），他舉出各種數據，證明台積自製的EUV光罩防塵護膜，性能、品質領先同業，能大幅提高良率。
這是台積首度公開這個祕密武器，解答了一個業界謎團：大家用的都是艾司摩爾的EUV微影設備，為何台積在先進製程能一枝獨秀？
「這個自製光罩護膜技術，就是我們在EUV可以業界領先的重要差異化，」台積副共同營運長張曉強說。
台積終於承認了。我暗自得意，因為早在4年前，我就寫過一篇獨家新聞揭露此事，來源是台積總裁魏哲家的一句話。
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