事情的開端是1月28日,除夕前一星期。
當天上午,台積電企業訊息處資深處長孫又文收到幾個線上記者傳來的簡訊,查證台積台南14B廠產線受到污染的消息。
因為14A廠正好幾天前發生過鐵離子汙染,但僅波及幾百片。她便回覆記者「小事,已經解決了」,而且出事的是14A不是14B。
然而到了當天中午,一位營運副總告訴她,14B的光阻液出了「大條問題」。她才警覺之前的答覆不恰當,馬上再告訴線上記者光阻液的狀況。
光阻液是晶圓製造中的微影成像步驟的關鍵化學品。晶圓製程中光阻劑被塗在晶圓後,接續的曝光顯影、蝕刻等步驟都和光阻劑有關,因此光阻液的使用是影響製程良率的關鍵之一。
營收12年最慘烈的單季萎縮
各大報和網媒立刻迅速發了10多則網路新聞。繼電腦病毒事件之後,「台積電二度出包」的消息,也從此一發不可收拾。(延伸閱讀:每個工廠都在害怕!台積電電腦中毒背後真正的原因......)
在證交所的要求下,台積在當天晚上以及次日兩度發表聲明,表示受到影響的晶圓大部分可以在第一季補回,並強調不會影響公司財測。
但過了兩個星期,卻又風雲變色。
2月15日,台積再度發表聲明,推翻原先不影響財測的說法。將第一季營收目標下修3億美元,每股獲利目標也減少0.42元。
美商聯博投信因此預期台積2019年第一季營收將較上季下滑25%,將是2007年以來最慘烈的一次。
質疑一:毀損為什麼從1萬片變成10萬片?
很多人無法理解,根據台積電公告的財務數字及法人消息推估,為什麼一開始損失估計約是1到3萬片晶圓,短短兩個多星期之後,卻擴大為10萬片?10萬片是以台積公告延遲出貨5.5億美元,每片晶圓造價超過5千美元估算出的數字。
一位外資分析師認為,顯然他們(1月28日)那時候還不知道全貌。
12與16奈米製程精密複雜,得經過數十道光罩,晶圓送進產線到生產完畢,要超過三個月時間。事發時,不少接觸到該批問題光阻液的晶圓都還在產線內,至少得生產到導線層的第一層,俗稱「metal 1」長好之後,才有辦法接上探針去測量電性。
台積的14B廠一開始警覺問題,是因為發現產出的晶圓出現「良率偏移」,亦即一片晶圓切割出來的晶粒,能用的數量低於正常標準。
孫又文表示,台積發現這問題,距離第一次公告,其實只有兩、三天檢查,「在那個節骨眼,其實沒有做到全盤了解,」她承認。
第二個原因,則是這兩個星期之間,客戶態度的大幅改變。一位分析師指出,這次光阻液事件的受害客戶,主要是舊款iPhone所用的16奈米處理器,以及博通、Nvidia、海思等。

一開始台積與客戶談的是「折讓」,亦即只有問題嚴重的晶圓報廢重做,其他影響輕微的、較正常良率多壞幾顆晶粒,就補給客戶多少。也因此第一次宣布的損失數量較少,「雖然還是會延遲出貨,但可以keep(維持)我的Guidance(財測),」孫又文說。
但後來不少客戶態度驟變,質疑起該批晶圓的潛在風險,台積便索性全數重做,即使願意接受「折讓」的客戶,也一律做新的給他們,才會出現5.5億美元的鉅額損失。
然而,客戶為何態度驟變?孫又文表示不便評論,但她強調,台積選擇幾乎全數重做的主要考量,就是「要給客戶最好的品質,不要有任何疑慮」。
一位台積前主管則表示,台積部分客戶不願接受折讓,背後關鍵可能是因為去年底iPhone滯銷造成整個產業的庫存過多,因此部分客戶巴不得台積出不了貨,「找個理由,全部退掉。」
但孫又文否認此說,「跟庫存過多,一點關係都沒有。」她並補充,台積延遲到第二季補貨,有些客戶其實很緊張,台積主管還得去道歉、安撫。
一位熟知台積內情人士則透露,真相是部分「客戶的客戶」(品牌、系統廠),後來因為媒體負面報導而緊張起來。台積為了不讓客戶為難,才決定「幫客戶扛」。
質疑二:光阻液發生什麼事,為什麼台積沒有檢查出來?
外界一再質疑,台積廠內生產流程重重檢驗關卡,包括晶圓入廠品管(Wafer IQC),怎麼可能問題光阻液可以進到產線,還生產了這麼多片?
孫又文解釋,光阻液由10多種成分混和,但供應商不知何故,其中一個成分用與過去不同的方式處裡,導致光阻液中產生「異質的聚合物」,而且細微到舊有的檢驗方式鑑驗不出來,才會接連闖過廠商、台積的檢驗。
儘管台積未確認,但外界都指證歷歷,戰犯便是美國大廠「陶氏化學」。但奇怪的是,陶氏出問題的光阻液,僅限於該批貨,下一批貨就不含有問題成分。
因此台積還在了解,為什麼陶氏「會做出這個奇怪的動作」。但孫又文說,這方面目前不方便對外說明。
其實,產線出包,對於晶圓廠而言,是家常便飯。
一位台積客服部前主管表示,一年產線出狀況的次數甚至多達二位數,但多數都如同前述的鐵離子汙染一樣,僅數十片、數百片規模。客服員工一項重要工作,就是跟受影響客戶談判後續處理事宜。
他最多曾遇到3萬片規模,與3年前的台南美濃地震差不多規模的事故,但台積依舊不動聲色的掩蓋下去。因不影響財測,也沒公告。
《天下》問孫又文,台積真的發生過3萬片等級的事故,然後外界一無所知?
她並未否認,只說現在台積月產能超過100萬片,3萬片僅占3%,「要補回來沒那麼困難。」
質疑三:半年出包兩次,螺絲鬆了嗎?
去年8月的台積電電腦中毒事件,不少人還記憶猶新。因此,隔不到半年,又發生一件在台積創辦人張忠謀任內從未發生過的重大失誤。很合理的懷疑,就是「接班之後螺絲鬆了」。(延伸閱讀:後張忠謀時代 台積電有哪些隱憂?)
一位外資分析師表示,他接到的客戶電話,問題多圍繞台積電董事長劉德音與執行長魏哲家兩人身上:「那兩個有沒有問題」、「是內鬥嗎」、「控制成本過頭了嗎」。

但他覺得,劉、魏兩人受到的諸多責難「挺冤枉的」,因為「換做今天是張忠謀,一樣會出事。因為是一樣的SOP(標準作業程序)。」
工作人員遵照SOP做事, 依舊出包。那顯然是SOP的設計有問題。業界直指,該負責的是品質暨可靠性部門,以及部門主管、副總經理蔡能賢。甚至傳出,身為台積老臣的蔡能賢,可能在本次事件結束後退休。
標準作業程序的設計有問題
「我相信很多人都要負責,這不是一個人的事情,」孫又文說。
另一個受到法人責難的,則是台積過年前後兩次公告的落差。
在這麼短的時間內,對當季財測做如此大幅修正,這是向來講求誠信、透明的台積,很少犯的錯誤。「一開始話說太滿,」分析師說,他認為這次對台積發言體系過去累積的信譽,有不小的傷害。
但是,台積仍有做對的事。
這位分析師便很嘉許,這次台積快刀斬亂麻,毅然將10萬片損失「吞下來」的勇氣與魄力,「這才是張忠謀傳下來的台積電傳統精神。」(延伸閱讀:張忠謀:領導人5大特質)
他表示,幾年前曾經有一次類似狀況,Nvidia繪圖晶片出包,而且發現的時間點比這次更糟——已經裝到客戶華碩的電腦裡面。
責任歸屬一樣在模糊地帶,是Nvidia的電路設計、還是台積的製程有問題,雙方各執一詞。
但是時任董事長的張忠謀二話不說,「全吞下來」。
因此這名分析師認為,從大節觀之,台積的優良傳統猶在,只是螺絲得再稍微鎖緊一點。(責任編輯:吳凱琳)
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